1、首先要了解旋片式真空泵的類型、特點、現在狀況。了解使用要求，確定修理目標。在進行維修之前，準備好檢測手段。
2、判斷故障，確診故障。判斷準，可省事。確診要驗證。
3、排除故障，先簡后繁，先易后難。無須拆卸的不拆。以減少由于缺少專用工具和操作不當引起新的損傷，減少位置變化和跑合運轉時間。一般的說，拼接式轉子是不可拆卸的，否則形位公差就不保，轉子就報廢了。
4、有毒有害、有腐蝕性的泵，應請用戶先行清洗，并告知必要的防護措施，以保障維修人員的健康。
5、故障分類
建議把故障分為運轉故障和性能故障。
運轉故障可包括泵不轉，泵溫太高，漏油，漏水，最大功率超標等。
性能故障可包括極限壓力、極限全壓力、抽氣效率、噪聲、噴油、氣鎮性能等不達標或不能滿足要求。
6、故障判斷與診斷例舉
（1）泵不轉。情況不明不能先開泵，以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。
①泵能盤動而不轉。原因可以是聯軸器故障；皮帶打滑；電機接線有誤；電機損壞；電源沒電等。
②不能盤動或盤起來很重的，原因可以是因為起動泵溫太低，泵油粘度太高；設計制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝結，或在排氣管中凝結的水流回泵中)；有異物在泵內(進氣管中的焊渣、氧化物；旋片彈簧等泵零件的碎屑；旋片變形卡住；發生了咬合(銅套、轉子、中壁、泵蓋、定子、軸承)。
（2）泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的最高油溫超過使用說明書規定值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降，并使泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降；使橡膠件容易老化；熱膨脹使運轉間隙縮小，特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內孔間隙，影響泵運轉的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵環境溫度太高，進氣溫度太高，進氣冷卻裝置失效，泵長期連續運轉入口壓力太高；水冷泵冷卻水量不足，循環水設計效果不佳；溫控水量調節閥失效等。
（3）漏油。可以發生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處，氣鎮閥(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安裝不當，損壞失效，表面不平整、有雜質、粗糙和鑄件疏松等引起。如果停泵后返油，油會進入氣鎮閥，不關氣鎮閥可能會漏油。
自制橡膠墊時，一定要用耐油橡膠，要按照原設計形狀，密封面太大時壓不緊會漏油。
（4）漏水可以發生在水管接頭，水套悶蓋平面，放水孔螺塞，放水閥等處，水套鉆穿，鑄件缺陷，凍裂，也可能導致漏水。
（5）大功率超標。可由長期連續作入口壓力太高、排氣壓力太高、雜物進人發生咬合、泵溫太高、旋片等配合間隙太小、電壓太高、泵液返入泵內太多等引起，會使電機損壞。應盡量避免在最大功率附近長期連續運轉。如果表面有沉積物，要定期拆開清除。
（6）極限壓力不達標。
可由外漏、內漏、油孔堵塞、泵油質量不良或污染變質、有水汽等可凝性物質、儀器儀表失真、泵運轉不正常等引起。
外漏較多時，排氣口可看到白色蒸汽。油標處有較多氣泡，手在排氣口上可感到排氣壓力。低級排氣閥處油面有較多氣泡。功率會有所增加。這時，首先應檢查氣鎮閥是否已關好。由于新泵出廠每臺都在泵口測極限壓力，所以如有外漏現象，應對泵口及管道、閥門、容器逐一檢查。外軸封失效、油杯無油、油孔悶頭漏氣也可造成外漏。內漏可由泵內的運動間隙、排氣閥座平面、排氣閥的密封面、內軸封、泵蓋平面、進氣管、氣鎮閥密封件等引起。磨損、腐蝕、咬合會使運轉間隙加大。油孔阻塞時，打開加油孔聽，泵的噪聲會較輕，在油箱密封良好的情況下，如果手在排氣口上有被吸的感覺，排氣閥可能失效。
如果泵油清潔，長期存放未用，可開氣鎮閥凈化泵內水汽。若無效，要檢杏儀表。若泵油發黃發白已乳化，可全開氣鎮，調大氣鎮量凈化運轉，必要時可在泵口放入適量氣體運轉，可加快凈化過程。若抽入其他揮發性氣體或液體，要及時換油，必要時請洗油箱。有些泵，在級間氣道里會沉積泵液，為取得好的換油效果，要設法把沉積泵液排出。
極限壓力是用座式壓縮式水銀真空計測量的。
用經校準的熱偶真空計等全壓力計測量時，測得值會增加。注意熱偶真空計的規管要配對校準。建議備用一只同時校準的規管，以備懷疑規管污染失真時進行對比。
極限壓力升高會使高真空時段的抽氣效率下降，也會使極限全壓力升高。可以參照上述介紹來判斷、檢查、處理抽氣效率下降和極限全壓力升高的故障。
（7）噪聲。泵的結構設計，電機與泵軸承的噪聲，旋片等運動件是否滑暢、進油量太多、風扇、傳動件產生的噪聲、進氣量大，開氣鎮運轉、擋油板等泵內零件松動，安裝不平等引起振動，都會影響泵的噪聲。
（8）噴油。防止噴油用的油盒回油孔的大小、位置、密封狀況,擋油板的設計、安裝,排氣口部分的減霧器、擋油帽、氣分離器，油位的高低，進油量的大小，都會影響泵的噴油，泵門敞開抽大氣時，直聯泵排氣口的氣流速度可以高達30m/s，吹開油面時，泵內的循環油和氣流帶出的油就將考驗防止噴油的各項措施。
7、其他。有些泵有油泵，有油分離器，有油路上的單向閥，有消霧器，有入口過濾器(防油蒸汽返流用)，有入口灰塵過濾器等部件或附件，也要進行檢查。油泵失效將使泵的潤滑和密封失效，消霧器失效，有可能使排氣壓力升高，功率加大，損壞電機，入口過濾器失效可使進氣阻力增大，抽速下降，抽氣效率下降。
8、清洗。不宜浸洗，以免洗液進入拼接轉了內部，不易排出。
9、拆裝。要按照使用說叫書推薦和規定有序進行，記好位置，合理擺放，以免錯裝。
使用前，應首先仔細閱讀產品說明書，開箱后應檢查裝運質量。收好備品備件和技術文件，拆除排氣口防護件。按要求安裝，接線，試轉向。水冷泵接水。
為防止因返油與反轉而噴油，應先開啟泵口，按規定轉向把泵內存油用手盤到油箱中。同時查看油位，應在油標中心以上，但不要滿油標，多了要放出。
判斷轉向的輔助方法。把護套倒放在泵口上，如開泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。聲音正常是正向，聲音異常響是反向。
如在泵口配裝帶充氣電磁閥，一般應橫裝，并與泵同時動作。
相對濕度較高或被抽氣體中含水汽等可凝性蒸汽時，應使用氣鎮閥。
按說明書推薦選用真空泵油。注意酯類真空泵油不可與礦物油型真空泵油和其他油類混用，必須嚴格清洗后才能換入酯類真空泵油。
檢查泵的極限壓力以壓縮式水銀真空計為準。全壓力計應注意做好計與規管的配對校準和備用比對規管。建議在規管與被測泵之間裝一球閥。不測時關閥，可延長規管使用時間。